■小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
■装置組込みに適したコンパクトサイズです。
■マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
■吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。
■電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
■強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
■大気圧からの作動が可能です。

【用途】
・理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
・真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
・半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
・真空乾燥器、凍結乾燥器。
・リークディテクタ。

【仕様】
・排気速度（L/min）50/60Hz： 100/120
・到達圧力（Pa）： 0.67
・電源（V）： 単相100V
・全幅（mm）： 150
・全長（mm）： 413.5
・全高（mm）： 234.5
・サーマルプロテクタ付： ○
・使用油： R−2
・電源コード長さ（m）： なし
・2段排気方式
・CEマーキング自己宣言品
・TUV、cTUVus認証取得品
・一台から異電圧に別作対応

【注意】
・真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
・排気口からの油煙（オイルミスト）が大気圧付近では特に発生します。
・排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
・このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。