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アルバック機工　ＵＬＶＡＣ　ＫＩＫＯ
ＵＬＶＡＣ　単相１００Ｖ　ダイアフラム型ドライ真空ポンプ　幅２０３ｍｍ DAU-20
DAU20

ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。

通常価格　¥156,128(税別)

JAN：4571133302379　

△通常8～13営業日以内にお届け　

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個

特長
■ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
■複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。

用途
■広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
■ロードロック室排気。
■吸着搬送、ハンドリング。
■レーザーガス循環・排気用。
■真空乾燥装置、連結真空乾燥装置

仕様
■排気速度(L/min)50/60Hz：20/23
■到達圧力(Pa)：200
■吸気口径(mm)：10
■電源(V)：単相100
■騒音値(dB)：-
■全幅×全長×全高(mm)：161×327×217
■寸法(mm)：161×327×217

■3段排気方式
■接ガス部耐食性

■到達圧力(KPa)：0.2
■吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
■最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×218(H)

材質／仕上げ

注意
■吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

商品スペック

メーカー希望小売り価格(税別)	オープン
注意	●吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。

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