特長
■ダイアフラム型真空ポンプの到達圧力性能をさらに追求したものです。
■複数のポンプヘッドを3段式に配管することにより、通常のダイアフラム型では得られない到達圧力を実現しています。
■高真空タイプのダイアフラム型真空ポンプの接ガス部にPTFEなどの耐食性の強い部品を使用したケミカルタイプのものです。

用途
■広域型ターボ分子ポンプ、クライオポンプ排気系、メカニカルブースターポンプのバックポンプ。
■真空濃縮、真空ろ過、遠心分離、ロータリーエバポレーターなど。
■医療機器、製薬用機器、分析機器、理化学機器など。
■特殊ガス置換。
■真空乾燥装置、凍結真空乾燥装置。

仕様
■到達圧力(Pa)：200
■排気速度(L/min)50/60Hz：20/23
■吸気口径(mm)：10
■電源(V)：単相100
■消費電力(W)：80
■幅(mm)：161
■奥行(mm)：327
■高さ(mm)：217
■排気速度(L/min)：20/23
■騒音値(dB)：-

■サーマルプロテクタ付
■ケミカルタイプ
■高真空タイプ
■到達圧力(KPa)：0.2
■吸排気管径(mm)：O.D.φ10×I.D.φ6(Rc1/8)
■最大寸法(mm)：161(W)×327(L)×217(H)
■電源コード長さ：1.8m
(要相談)

材質／仕上げ

注意
■吸入気体に水分、ゴミ、腐食性ガスなどが混入する場合はそれらを取り除く必要があります。