アズワン AS ONE
マスフローコントローラー 10SCCM-Air
3-5064-01
3-5064-01 マスフローコントローラー 10SCCM-Air C1005
通常価格 ¥117,000(税別)
JAN:4589645250019 
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熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
スタート時のフローサージ現象を抑制します。
フルスケール流量:10SCCM-Air
ガス種類:Air
流量精度:±2%FS(精度保証範囲15〜35℃)
応答性:6sec
流量制御範囲:5〜100%FS
入出力:アナログ信号(0〜5VDC)
バルブ形式:N/Oノーマルオープン
再現性:±0.2%FS
動作圧力範囲:50〜300kPa
耐圧:1MPa(G)
外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
接続:1/4in.SWL相当
電源:+15VDC±5% 60mA、−15VDC±5% 150mA
通信方式:アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
サイズ:127×25.5×100mm

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